全球半導體設備大廠艾司摩爾(ASML)日前在一場公開活動中,公布了其新一代高數值孔徑極紫外光(High-NA EUV,HNA)微影技術的最新進展與市場採用狀況,目的在消除市場對其技術成功性的疑慮。而且,ASML 也宣布,已在總部設立 HNA 專門組織並投入運作。
為什麼有了極致先進 EUV,半導體製程仍對 DUV 不可或缺? |
| 作者 Atkinson|發布日期 2025 年 11 月 27 日 11:00 | 分類 半導體 , 材料、設備 |



