新 EUV 時代來臨，imec 以 High-NA EUV 展示邏輯與 DRAM 架構
作者 | 發布日期 2024 年 08 月 09 日 9:20 | 分類 半導體 , 晶圓 , 晶片 line share Linkedin share follow us in feedly line share
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新 EUV 時代來臨，imec 以 High-NA EUV 展示邏輯與 DRAM 架構

比利時微電子研究中心（imec）在荷蘭 Eindhoven 與艾司摩爾（ASML）合作的高數值孔徑極紫外光（high-NA EUV）微影實驗室，利用數值孔徑 0.55 極紫外光曝光機，發表曝光後圖形化元件結構。

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