默克攜手美光開發低 GWP 替代性蝕刻氣體，提供永續解決方案

作者 Atkinson | 發布日期 2022 年 08 月 08 日 11:40 | 分類半導體 , 晶片 , 會員專區

默克宣布攜手美光科技聯手開發用於半導體製程，能降低全球暖化潛勢 (global warming potential，GWP）的氣體解決方案。經過一年的持續合作，美光科技目前正在測試默克研發部門提供的低 GWP 替代性蝕刻氣體，以驗證其製程性能，進而取代傳統的高 GWP 材料。目標是「在半導體製程中導入全新且更具永續性的氣體解決方案」。