中國半導體正迎接先進光刻時代到來，中芯、長江存儲、華虹先後引進

近期，中國半導體廠開始積極迎接先進的光刻機時代到來。就在日前，中國最大晶圓代工廠中芯國際斥資 1.2 億美元，自荷商艾司摩爾（ASML）買來中國首台極紫外線光刻機的消息曝光之後，以生產 NAND Flash 為主的長江存儲，也在日前傳出，同樣向艾司摩爾採購價值 7,200 萬美元的 193 奈米沉浸式光刻機，用於 20~14 奈米的 3D NAND Flash 生產，也同樣運抵武漢。最新的是，華虹集團旗下的上海華力集成電路，也迎接了他們的首台 193 奈米雙沉浸式的光刻機，以用於先進製程的晶圓製造生產。

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