imec 展示 high-NA EUV 生態系統進展，首批晶圓將完成曝光
作者 | 發布日期 2024 年 02 月 26 日 18:10 | 分類 半導體 , 晶圓 , 晶片 line share Linkedin share follow us in feedly line share
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imec 展示 high-NA EUV 生態系統進展，首批晶圓將完成曝光

本週 2024 年國際光學工程學會（SPIE）先進微影成形技術會議（Advanced Lithography and Patterning Conference），比利時微電子研究中心（imec）呈現極紫外光（EUV）製程、光罩和量測進展，都為實現高數值孔徑（high-NA）EUV 微影應用服務。

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