imec 與 ASML 簽定備忘錄,強化 high-NA EUV 合作

作者 | 發布日期 2023 年 06 月 30 日 13:45 | 分類 半導體 , 會員專區 , 材料、設備 line share Linkedin share follow us in feedly line share
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imec 與 ASML 簽定備忘錄,強化 high-NA EUV 合作

比利時微電子研究中心(imec)及艾司摩爾(ASML)今日宣布,開發最先進高數值孔徑(high-NA)極紫外光(EUV)微影試驗製程的下一階段強化合作。

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