俄羅斯科學院近日公布了 2026 年至 2037 年的極紫外光（EUV）光刻工具發展藍圖，計劃取代傳統深紫外光（DUV）光刻技術。
俄羅斯公布 EUV 光刻工具藍圖，取代 DUV 技術計畫遭質疑 |
作者
TechNews 編輯台|發布日期
2025 年 09 月 30 日 12:30 |
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